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激光混合氣中的發(fā)生氣體是激光發(fā)生器上用來產(chǎn)生激光的氣體，對氣體質(zhì)量要求高，激光混合氣配制精度要求高，高純二氧化碳純度達99.999%，高純氮氣的純度99.999%，高純氦氣的純度要求99.999%，二氧化碳是產(chǎn)生激光的，氦氣是冷卻激光器的，氮氣是平衡氣體，氣體中的水分、氧份、有機氣體雜質(zhì)對激光機的鏡片損傷特別大，能快速減少鏡片的壽命。所以激光機對這些氣體的質(zhì)量要求特別高。中性原子激光與離子氣體激光的差別，在于前者的激光光來自中性原子能階之間的躍遷，后者是離子的能階( 如Ar+,Kr+ )間之躍遷。因此，氬激光(Argon laser)與氬離子激光(Argon ion laser)并不相同，前者的激光光波長屬于紅外線波段，后者則在可見光和紫外線區(qū)。激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進行干燥處理，防止污染混合氣。

準分子(Excimer)激光：準分子一詞的本意，是「兩個同種原子組成，而只存在于受激態(tài)的分子」，如稀有氣體分子He2、Ar2、Xe2等；其英文原名為 Excited Dimer 組合成的術(shù)語。現(xiàn)在現(xiàn)已將它的適用范圍放寬，以包含「不存在于基態(tài)，只以受激態(tài)出現(xiàn)的任何雙原子分子(有時還包含三原子分子)」。CO2激光輔助鼓膜成形術(shù)的總體滿意，與傳統(tǒng)手術(shù)相比，該手術(shù)方式具有操作簡便、創(chuàng)傷小、且可重復進行的優(yōu)點。銅蒸汽激光產(chǎn)品可發(fā)生100W以上的綠光(511 nm)及黃光(578 nm)，金蒸汽激光則可得數(shù)十瓦的紅光 (628 nm)。這兩種激光有很多用途，例如血紫質(zhì)衍生物(Hemoporphyrin derivative)吸收光譜的峰值約為628 nm，而癌細胞能吸收此物質(zhì)。此物質(zhì)受到628 nm的激光光照耀后會分化，發(fā)生可癌細胞的物質(zhì)。不過，銅蒸汽激光激起染料激光，也可得到這種光，而不必依托金蒸汽激光。此外，578 nm的激光能夠除去某些胎記，作用優(yōu)于用氬離子激光。

激光切割輔助氣體主要是干燥空氣、高純氮氣或工業(yè)氧氣，當切割不銹鋼板或是切割鋁板時一般使用高純氮氣作為輔助氣體，一般壓力要求比較高。如果將氦（He）氖（Ne）激光作為代氣體激光，二氧化碳激光混合氣體是第二代氣體激光，在半導體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆矗↘rF）激光，可稱為第三代激光。稀有氣體離子激光中，以氬離子激光及氪離子激光為常見。除了直接使用之外，氬離子激光常以其紫外線及藍綠光激起染料激光。

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